| 洗浄するもの | Si基板、AlGaN/GaN/Si基板 |
|---|---|
| 洗浄に使う液 | アンモニア＋過酸化水素＋水、HF、BHF |
| 乾燥の方法 | スピン乾燥、アルコール置換、N2ブロー |
| 洗浄するもの | Si基板 |
|---|---|
| 洗浄に使う液 | アンモニア＋過酸化水素水 |
| 乾燥の方法 | スピン乾燥 |
| エッチングするもの | Al |
|---|---|
| エッチングに使う液 | リン酸 |
| 乾燥の方法 | スピン乾燥 |
| エッチングするもの | SiO2、Ti |
|---|---|
| エッチングに使う液 | BHF |
| 乾燥の方法 | スピン乾燥 |
| エッチングするもの | Au |
|---|---|
| エッチングに使う液 | ヨウ化カリウム水溶液 |
| 乾燥の方法 | スピン乾燥 |
